EN Acetylene is used as a precursor for amorphous carbon hard mask deposition. It is also used as a carbon source for SiC and SiCN films.
EN Acetylene is used as a precursor for amorphous carbon hard mask deposition. It is also used as a carbon source for SiC and SiCN films.
FR L'acétylène est utilisé comme précurseur pour le masque de carbone amorphe lors du dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma (PECVD). C'est également une source de carbone pour certaines couches de carbonitrure de silicium.
inglês | francês |
---|---|
carbon | carbone |
mask | masque |
source | source |
used | utilisé |
as | comme |
a | une |
also | également |
is | est |
Mostrando 1 de 1 traduções