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DE Eduard Rhein Stiftung | Für die Erfindung des reaktiven Ionentiefenätzens (Bosch Prozess), ein Schlüsselprozess zur Herstellung von Halbleitersensoren

EN Eduard Rhein Stiftung | For the invention of the deep reactive ion etching process (Bosch Process), a key process for manufacturing semiconductor sensors

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DE Für die Erfindung des reaktiven Ionentiefenätzens (Bosch Prozess), ein Schlüsselprozess zur Herstellung von Halbleitersensoren ? Eduard Rhein Stiftung

EN For the invention of the deep reactive ion etching process (Bosch Process), a key process for manufacturing semiconductor sensors ? Eduard Rhein Stiftung

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DE Für die Erfindung des reaktiven Ionentiefenätzens (Bosch Prozess), ein Schlüsselprozess zur Herstellung von Halbleitersensoren

EN For the invention of the deep reactive ion etching process (Bosch Process), a key process for manufacturing semiconductor sensors

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